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            產品詳情
            • 產品名稱:PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備

            • 產品型號:CY-PECVD-R
            • 產品廠商:成越科儀
            • 產品文檔:
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            簡單介紹:
            本產品為PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備。PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。
            詳情介紹:

            旋轉PECVD 

            本產品為等離子增強回轉化學氣相沉積系統(旋轉PECVD),爐管采用變徑設計,中部管徑較粗且有有混料隔板,能夠隨著爐管的旋轉將粉體或者顆粒反復混合,通過機械傳動控制工作管能360°不間斷旋轉,使得管內物料攪拌混合獲得均勻受熱效果;設備另配有等離子發生裝置,采用電感耦合與爐管連接,產生的等離子能夠滿布爐管,有效的提高反應物活化能,降低反應溫度,提高反應效率。設備配有三路質量流量計及混氣裝置,可用于向路管內通入多種氣體,同時設備配有高性能機械泵,能夠快速將爐管抽至真空;通過泵和氣路的配合可以實現多種CVD工藝。旋轉裝置十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。

            技術參數

            雙溫區管式爐

            產品型號

            CY-O1200-60IIC-R

            設備功率

            3KW

            爐管材質

            高純石英

            爐管尺寸

            Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm(石英異型管)

            爐膛長度

            440mm

            加熱區長

            200mm+200mm

            工作溫度

            0~1150℃

            極限溫度

            1200℃

            控溫精度

            ±1℃

            熱電偶類型

            K型熱電偶

            控溫模式

            30段程序控溫,PID參數自整定

            顯示模式

            高清全彩LCD觸控屏

            密封方式

            304不銹鋼真空法蘭

            供電電源

            AC:220V 50/60Hz  

            旋轉速度

            0~13rpm

            傾斜角度

            0~35°

            3路質量流量計

            產品型號

            CY-3Z

            氣路數量

            3路

            流量計類型

            質量流量計

            測量范圍

            A路:0~100sccm; B路:0~200 sccm; C路:0~500 sccm

            測量精度

            ±1.5%

            工作壓差

            0.1~0.5MPa

            管路接口

            1/4英寸卡套接頭

            供電

            AC220V 50/60Hz

            真空系統

            真空泵

            雙極旋片泵

            抽速

            1.1L/s

            抽氣接口

            KF16

            泵極限真空度

            10E-1Pa

            供電

            AC220V 50/60Hz

            射頻電源

            信號頻率

            13.56MHz±0.005%

            功率輸出范圍

            0~500W

            *大反射功率

            100W

            射頻輸出接口

            50Ω,N-Type,female

            功率穩定度

            ≤5W


            豫公網安備 41019702002438號

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