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            產品詳情
            • 產品名稱:碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀

            • 產品型號:TN-PEC250G-HV
            • 產品廠商:成越科儀
            • 產品文檔:
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            簡單介紹:
            碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀可進行真空蒸碳、真空熱蒸發和等離子濺射,它也可以在高純氬氣的保護之下進行多種離子處理,碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀采用機械泵和分子泵,實現高真空。
            詳情介紹:

            ○ 產品介紹

            TN-PEC250G-HV碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀可進行真空蒸碳、真空熱蒸發和等離子濺射,它也可以在高純氬氣的保護之下進行多種離子處理。通過更換功能套件,設備可以在多種功能間快速切換,非常適合實驗室制作SEM樣品使用。本儀器裝有機械泵和分子泵,能夠滿足多種真空度要求,尤其能夠實現高真空,能夠有效提高鍍膜質量。

            ○ 適用范圍

            實驗室鍍膜使用。

            ○ 技術參數

            真空腔體
             高純石英,鐘罩狀,φ250x340mm
            蒸發腔體 
             高純石英,鍍罩狀,帶側面開孔,尺寸φ88x150mm
            等離子濺射腔體
             高純石英,鍍罩狀,帶側面開孔,尺寸φ88x150mm


             等離子濺射套件 

             濺射電壓1600V

            *大電流50mA
            靶面尺寸2英寸
            工作真空10Pa~20Pa
            工作氣氛需通入高純氬氣


            熱蒸發鍍膜套件

             蒸發源數量2個

            *大電流100A
            工作真空10^-3Pa
            工作氣氛不通入任何氣體
            樣品臺直徑φ60mm,可旋轉


             


             碳蒸發套件

             蒸發方式碳棒蒸發

            *大電流160A
            工作真空10^-3Pa
            工作氣氛不通入任何氣體
            真空系統
             產品型號TN-GZK103-A
            分子泵渦輪分子泵
            前極泵雙極旋片泵
            抽氣速率分子泵:600L/S綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達:5×10E-3Pa
            旋片泵:1.1L/S
            極限真空5×10E-4Pa
            抽氣接口KF40
            排氣接口KF16
            真空測量復合真空計
            進氣系統
             配有手動微調閥,接口為1/4英寸卡套接頭
            供電要求
             AC 220V 50Hz

            ○免責聲明

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