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            產品詳情
            • 產品名稱:雙靶磁控及蒸發復合鍍膜儀

            • 產品型號:CY-MS500S-2TA1S
            • 產品廠商:成越科儀
            • 產品文檔:
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            簡單介紹:
            雙靶磁控及蒸發復合鍍膜儀不銹鋼真空腔體、磁控濺射靶,蒸發鍍膜裝置,放置樣品的樣品臺,真空泵機組、真空測量規管,進氣系統和控制系統組成。雙靶磁控及蒸發復合鍍膜儀可用于電子產品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。
            詳情介紹:

            CY-MS500S-2TA1S雙靶磁控及蒸發復合鍍膜儀可用于電子產品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。尤其適合實驗室SEM(掃描電鏡)的樣品制備。

            設備主要由不銹鋼真空腔體、磁控濺射靶,蒸發鍍膜裝置,放置樣品的樣品臺,真空泵機組、真空測量規管,進氣系統和控制系統組成。

            設計特色

            1. 設備主機采用觸摸顯示屏操作,溫控表檢測。其數字化參數界面和自動化操作方式為用戶提供了優良的研發平臺。

            2. 真空室采用下置靶設計,樣品臺具有加熱和旋轉但是功能,可以使鍍膜效果更加均勻。

            3. 設備真空獲得系統采用兩級真空泵組,前級泵為大抽速機械泵,有效縮從常壓至低真空的時間,主泵為渦輪分子泵,抽速高,真空獲取速度更快。 整體真空獲得系統干凈快速。

            4. 真空腔體采用304不銹鋼制成,配有觀察窗口及擋板。造型美觀做工精細,真空性能優異。

            5. 主要密封法蘭采用 CF系列高真空密封法蘭。真空腔體各接口均采用橡膠密封圈密封,真空性能優良,能有效保證鍍膜質量。

            技術參數

            磁控濺射頭

            數量

            2英寸 x2

            冷卻方式

            水冷

            蒸發系統

            蒸發源

            鎢絲籃

            *高溫度

            1500℃

            熱電偶

            S型熱電偶

             

             

            真空腔體

            腔體尺寸

            φ300mm X 300mm

            觀察窗口

            φ100mm

            腔體材料

            304不銹鋼

            開啟方式

            前開門式

            真空系統

            機械泵

            旋片泵

            抽氣接口

            KF16

            抽氣速率

            1.1L/s

             

             

            分子泵

            渦輪分子泵

            抽氣接口

            CF150

            抽氣速率

            600L/s

            排氣接口

            KF40

            真空測量

            電阻規+電離規

             

             

            極限真空

            1.3x10-4Pa

            供電電源

            AC;220V 50/60Hz

            電源配置

            直流電源數量

            1臺

            輸出功率

            ≤1000W

            輸出電壓

            ≤600W

            響應時間

            <5ms

            射頻電源數量

            1臺

            輸出功率

            ≤1000W

            功率穩定度

            ≤5W

             

             

            射頻功率

            13.56MHz

            射頻穩定度

            ±0.005%

            膜厚監控系統

            膜厚儀測量分辨率

            ±0.03Hz

            測量精度

            ±0.5%

            測量上限

            50000

            測量速度

            100~1000ms

            水冷系統

            水箱容積

            9L

            流量

            10L/min

            供氣系統

            流量計類型

            質量流量計

            量程

            200sccm

            氣體類型

            Ar氣

             

             

             

            其他

            供電電壓

            AC220V,50Hz

            整機尺寸

            1400x750x1300mm

            整機功率

            4kw(主機+真空泵)

            整機重量

            295kg

            樣品臺 

            樣式一:尺寸150mm,加熱溫度≤500℃ 控溫精度±1℃, 旋轉速度1-20r/min


            樣式二:尺寸φ150mm,高度 上下70mm精準可調,旋轉速度1~20rpm,加熱溫度 0~500℃



            豫公網安備 41019702002438號

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