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            產品詳情
            • 產品名稱:實驗室多弧離子鍍鍍膜儀

            • 產品型號:CY-MIOP500S-2TA
            • 產品廠商:成越科儀
            • 產品文檔:
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            簡單介紹:
            實驗室多弧離子鍍鍍膜儀是利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積在基片上,實驗室多弧離子鍍鍍膜儀十分適合鍍硬質保護膜如TiN等
            詳情介紹:

            CY-MIOP500S-2TA多弧離子鍍鍍膜儀

            多弧離子鍍是利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現象、等離子體技術和真空蒸發三者有機結合起來,不僅能明顯地改進了膜質量,而且還擴大了薄膜的應用范圍。其具有蒸鍍速率快,薄膜附著力強,繞射性好,膜材廣泛等優點。十分適合鍍硬質保護膜如TiN等。同時由于其通過控制氣氛可以改變膜層顏色,且膜層與基板結合牢固,故也可用于制作多種顏色的裝飾性膜。

            設計特色

            本設備配有兩個多弧靶,分置于腔體兩側。配合行星式樣品臺可有效的提高鍍膜效率,改善成效果,該鍍膜儀還采用一體化設計,腔體和電控部分左右分置,實現了水電分離,有力的保證了用戶的安全。 


            產品型號

            CY-MIOP500S-2TA

            真空腔體

            水冷不銹鋼腔體

            φ500mm X 490mm(H)

            前開門式,配有φ100mm石英觀察窗

            內置兩組紅外加熱燈,可對腔體烘烤除氣

            預留多個CF接口,可安裝多路膜厚儀

            進氣系統

            質量流量計Ar氣0~200sccm,

            N2氣0~200sccm其他流量或者氣體可定制

            供電要求

            AC 220V 50Hz  10kW

            控制方式

            15英寸觸控屏 組態控制軟件

            多弧靶

            數量規格

            3英寸x2

            安裝方式

            腔體側方對置

            工作電流

            0~150A

            靶材厚度

            max50mm,min20mm

            樣品

            規格

            行星式掛架

            可懸掛樣品數

            每支掛架上6個掛點,共計6個掛架

            轉速

            公轉轉速1~20rpm

            真空系統

             

            產品型號

            CY-GZK103-A

            分子泵

            渦輪分子泵

            前極泵

            雙極旋片泵

            抽氣速率

            分子泵:600L/S

            綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達:5×10E-3Pa

            旋片泵:1.1L/S

            極限真空

            5×10E-4Pa

            抽氣接口

            KF40

            排氣接口

            KF16

            真空測量

            復合真空計

             

            豫公網安備 41019702002438號

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