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            產品詳情
            • 產品名稱:單溫區旋轉PECVD石墨烯制備系統

            • 產品型號:
            • 產品廠商:成越科儀
            • 產品文檔:
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            簡單介紹:
            單溫區旋轉PECVD,安裝有真空自動投料器,爐管尾部預留KF40接口可以連接收料罐。投料器采用螺桿進料,可以以額定的速率將粉料送入爐管,投料速率可通過調節轉速來更改??蓪崿F在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用PECVD方法進行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護環境下對處理好的料粉進行收集。 設備配有100W頻率13.56MHz的視頻電源。能夠在真空中產生等離子體。高能等離子體能夠活化樣品表面,有效的增強反應效果,提高反應速率,這種輔助方法廣泛用于石墨烯制備,顆粒包覆等科學實驗上。 本設備特別適合顆粒型樣品實驗,通過機械傳動能夠控制工作管360°不間斷連續旋轉,轉速可調,使得管內物料不斷的被攪拌混合,充分與氣體和等離子體接觸,使樣品的反應更加均勻穩定。
            詳情介紹:

            射頻電源

             

            輸出功率

            150W

             

            輸出精度

            ±1%

             

            射頻頻率

            13.56MHz

             

            射頻穩定度

            ±0.005%

             

            冷卻方式

            風冷

            1200溫區管式爐

            供電電壓

            AC220V,50Hz

             

            *大功率

            2KW

             

            加熱溫區

            單個溫區200mm

             

            工作溫度

            *高1200℃,連續運行溫度應≤1100℃

             

            控溫精度

            ±1℃

             

            控溫方式

            AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條

            三溫區獨立控制,帶有過熱和斷偶保護

             

            爐管材質

            高純石英

             

            爐管尺寸

            φ50x800mm

             

            密封方式

            真空不銹鋼法蘭、KF16法蘭

             

            可調轉速

            0-20rpm

             

            傾斜角度

            0-15°

             

            真空泵

            旋片機械泵

             

            極限真空度

            1.0E-1Pa

             

            進料方式

            真空漏斗加螺桿進料

            豫公網安備 41019702002438號

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